PECVD镀膜设备工艺流程：

产品优势：

· Inline多腔体准动态PECVD镀膜技术       

· 分层高品质非晶硅钝化镀膜技术    

· PECVD多层布气Showerhead放电阴极结构设计     

· 大尺寸、轻载荷、低热膨胀系数、高平面度的复合载板设计

· Inline耐腐蚀磁流体真空传送大尺寸载板     

· RF快速启辉设置及辉光实时监控