PVD镀膜设备工艺流程：

产品优势：

· HJT高效电池PVD镀膜专用大尺寸、轻载荷、低热膨胀系数、高平面度的复合结构设计载板

· HJT高效电池大产能低碎片率的PVD腔体结构设计

· 强磁低温高溅射率的PVD阴极结构设计

· 快速均匀的加热单元设计

· 低薄膜不均匀性的PVD阴极腔体设计

· 在线PVD高速快节拍的高品质TCO薄膜镀膜技术